[問題] tmah蝕刻的機構

看板Chemistry作者 (妮妮)時間9年前 (2015/02/09 11:50), 編輯推噓0(0推 0噓 1→)
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哈囉 大家好 我想請問大家 tmah這個base是如何吃掉有機光阻材料 有化學的反應機構嗎 謝謝大家的解惑 -- Sent from my Android -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.138.217.141 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Chemistry/M.1423453824.A.159.html
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光阻大多是有機酸,沒有交連的就溶於鹼
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