[問題] RTA設備

看板Electronics作者btowhu (大遊)時間13年前 (2011/12/20 18:44)推噓0(0推 0噓 8→)

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各位同學好!最近看了半導體製程的書，看到了RTA設備。其中有一個圖想要請教一下，http://www.badongo.com/pic/14137374 這張圖是RTA內部設備的簡略圖: 加熱燈:熱源的主要來源，提供晶片熱能來做退火的動作反射層:讓加熱的效能提升進氣口:提供不同的氣體來達到不同的需求紅外線測溫儀:測試腔體溫度，主要是用非接觸型的紅外線測溫槍最後想要請問各位，他的石英窗是用來幹嘛的= = 有同學可以解惑一下嗎???謝謝~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.173.56.88

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