AZ 4620 曝光處起泡

看板NEMS作者sai77715 (賴打)時間12年前 (2012/05/21 22:16)推噓3(3推 0噓 2→)

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以下是我的機台與參數曝光機MJB4,曝光量10mw/cm^2 汞燈160W 波長365nm az4620 拿出冰箱約1小時因厚度關係 spin 500轉10s 1000轉40s 軟烤95度 6min 曝光時間20s 中間休息5s 然後再20s 一曝光完有照到光處的樣子會變的不一樣會起泡和有點撥離基板顯影也會出現問題想請問各位可能的原因是什麼?? 非常非常感謝您的回答 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.17.180 ※ 編輯: sai77715 來自: 140.112.17.180 (05/21 22:19)

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quaintness

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blueseas

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sai77715

05/24 16:37, , 3^F

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