[問題] 請問有free HF 的 isotopic wet etching Si溶液配方嗎

看板NEMS作者 (tingyu1027)時間11年前 (2013/03/22 13:55), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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想請問大家， 一般wet Si用HNA 溶液達到isotropic. 請問有辦法或什麼溶液不用到HF也可以 wet etching So 嗎？？ 謝謝大家不吝指教 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 110.26.142.248
推
03/22 22:13, , 1F
HF-free
03/22 22:13, 1F
→
03/23 00:47, , 2F
怕死後 NaOH加熱也可以
03/23 00:47, 2F
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