[問題] SU-8 2150顯影問題

看板NEMS作者lin0077123 (我愛你9527)時間10年前 (2014/01/16 19:56)推噓4(4推 0噓 2→)

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我的製程光阻後度約為250微米，線寬約為80微米大部分的圖形顯影的時候很漂亮，但在局部的地方例如某些圖形間的間距總是顯不乾淨(如下圖所示) ================================= 圖形(寬度80微米) ================================= (40微米間距) ================================= 圖形 ================================= 請問一下是我製程哪邊有問題，或者是有其他顯影方式可以讓顯影更加乾淨嗎? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.43.58 ※ 編輯: lin0077123 來自: 140.112.43.58 (01/16 19:59)

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OhMyAlex

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nasa01

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lin0077123

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