[問題] SU-8 50 內縮

看板NEMS作者 (123)時間10年前 (2014/05/20 18:31), 10年前編輯推噓1(1推 0噓 2→)
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搜尋了一下 243這篇 有提到不易附著 不易附著基本上SKY大說泡BOE可以改善 想問一下 今天製作的5片 是新的wafer 丙酮清洗完後 泡BOE 30 秒 然後DI water清洗後烤乾 塗布 SU8-50 (我是用800轉~做出來大概是125um) 但塗布完之後..軟烤五分鐘就開始內縮了 (先65度烤10分鐘) 另外 軟烤當下看會皺皺的? (有人也會嗎?) -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 203.64.97.123 ※ 文章網址: http://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1400581913.A.530.html ※ 編輯: nasa01 (203.64.97.123), 05/20/2014 18:32:25
推
05/21 16:21, , 1F
我之前遇過，不清楚導致原因，同一匹處理方式一樣的
05/21 16:21, 1F
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05/21 16:21, , 2F
wafer有些會發生有些不會，所以只能憑運氣 幸好我發
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生的機率不大，遇到後洗掉重塗也就勉強過得去了
05/21 16:22, 3F
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