[元件] 早上來chamber vent掉了

看板NTUEOE_R306A作者larry0424 (lemonlarry)時間13年前 (2010/12/13 10:31)推噓4(4推 0噓 3→)

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今天早上來chamber vent掉了應該說是早上2點多的時候chamber vent掉了早上來的時候發現mechanical pump的塑膠管鬆脫了週圍都是油所以開RV的時候會有怪聲音已經擦乾淨重新裝上去目前應該沒問題另外 chamber的門會漏氣所以chamber抽氣時抽不下去門的上方有漏氣的聲音聽上個做實驗的人說 O-ring有掉下來過所以今天早上的解決的辦法就是粗抽時把門的週圍壓一壓這樣就可以解決漏氣的問題我想可以考慮用grease把O-ring和chamber貼的緊密一點不知道實驗室裡有沒有早上粗抽到5*10^(-2) 共花了37分鐘左右細抽時 turbo的狀況還算良好跟上週差不多所以最近真空度可能會差一點最後實驗室櫃子上的冷氣好像又壞了沒有像上次壓縮機結冰而滴水所以不知道甚麼原因...... -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.171.72

推

andy760411

12/13 10:43, , 1^F

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JGZ

12/13 10:44, , 2^F

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larry0424

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