Re: [問題] 請問何種腐蝕液可以清洗掉釤跟鈷

看板NEMS作者 (小蝙蝠)時間15年前 (2009/03/08 12:20), 編輯推噓1(100)
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※ 引述《Ice98 (又寂寞又美好)》之銘言: : ※ 引述《olynn (墮落)》之銘言: : : 我用釤(Sm)跟鈷(Co)當作催化劑 : : 可是反應完之後釤跟鈷黏在基板的表面上 : : 我用氫氟酸去etching之後都沒有反應 : : 請問什麼腐蝕液可以清洗掉它們 : : 謝謝~~ : http://www.ee.byu.edu/cleanroom/wet_etch.phtml : 裡面有各種金屬的蝕刻液調配參數 : 不過沒有samarium 就是了 各位先進你好 我想問如何計算蝕刻氧化層下的金屬 它會側蝕刻多少範圍 我現在是要做蝕刻氧化層下金屬 不過都不知道有沒吃乾淨 目的是要釋放懸臂樑 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.124.32.177

03/09 19:01, , 1F
做個尺寸相同dummy的懸浮結構觀察..結構飄掉應該就吃完了
03/09 19:01, 1F
文章代碼(AID): #19iqUU-p (NEMS)
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