Re: [問題] 玻璃蝕刻
※ 引述《areckin (女王萬歲)》之銘言：
: 我想請問版上有人有用RIE的CHF3氣體來蝕刻玻璃(康寧出產的無鹼玻璃)的經驗嗎?
: 一般矽晶片可用這種氣體來蝕刻
: 那蝕刻玻璃會有問題嗎?
: 請版上大大指點一下 謝謝!
http://tinyurl.com/49kr7xl
這一台機器我平常在用，剛好這機器就是接CHF3而不是接CF4
更剛好的是但你可以發現 etch quartz時不需要用到 CHF3 (orz)。
另外你可以在裡面找到一些細節
比方說是建議用金屬 hard mask (Cr or Al)等等。
此外300W的 power 真的挺大。對這台機器而言平常對於Si, Oxide or Nitride
的蝕刻全都控制在 75 or 50 W。現在叫我開到300W我還會怕。
(雖然這台機器理論上可開到600W)
你可以詢問一下你的RIE Superuser是否可以將瓦數調那麼高
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※ 編輯: SkyLark2001 來自: 128.95.165.23 (02/15 11:48)
推
02/15 20:20, , 1F
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