[請益] 東京威力已刪文
不好意思
版上是否有哪位大大
在TEL任職的
有些機台上的問題想詢問一下
煩請站內信
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 42.75.241.98
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不好意思 小弟不是fab的EE
model是cellesta這種機台
因為off line test有量測particle 與etching rate兩種data
particle已經過關
唯獨etching rate差了一個gap卡住
小弟想了解 在etching rate差了一個gap 造成的原因會是有哪些可能?
目前推測出來的原因可能為開發的parts與原廠的公差 chamber環境 開發的parts表面粗
糙度
※ 編輯: cyclohexene (42.75.241.98), 02/21/2019 00:48:30
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